專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?/strong>:  

CN201410614452.9

專(zhuān)利類(lèi)型:

發(fā)明

IPC 分類(lèi)號(hào):   

G02B26/00

應(yīng)用領(lǐng)域:  

用于光學(xué)傳感、光通訊、光信息讀取以及激光技術(shù)等領(lǐng)域。

現(xiàn)有技術(shù)缺點(diǎn):  

現(xiàn)有微機(jī)電法布里－珀羅濾波器為了獲得較寬的自由光譜范圍，其腔長(zhǎng)往往較短，使其無(wú)法同時(shí)獲得窄半峰全寬和寬自由光譜范圍。

技術(shù)優(yōu)勢(shì):

   濾波器的寬自由光譜范圍是通過(guò)多級(jí)次光譜掃描拼接獲得的，因此其驅(qū)動(dòng)行程較短，直接采用濃硼摻雜硅層作為懸臂梁即可滿(mǎn)足對(duì)驅(qū)動(dòng)行程的要求，而無(wú)需在濃硼摻雜硅層上進(jìn)行圖形化刻蝕，減少了工藝步驟，降低了工藝難度。同時(shí)，還避免了由于刻蝕不對(duì)稱(chēng)導(dǎo)致的鏡面扭曲等問(wèn)題，具有穩(wěn)定性高，可有效保證腔鏡的平行度等優(yōu)點(diǎn)。

摘要:   

本發(fā)明提供一種長(zhǎng)腔長(zhǎng)微機(jī)電可調(diào)諧法布里－珀羅濾波器，濾波器的上基板由雙面腐蝕后截面呈“W”形的體硅及其下表面的濃硼摻雜層構(gòu)成，“W”形體硅上表面以透明薄膜作為支撐膜，其上的反射膜作為法布里－珀羅濾波器的前腔鏡，“W”形體硅下表面不同區(qū)域的濃硼摻雜層可分別作為懸臂梁和上電極。濾波器的下基板由石英玻璃構(gòu)成，其上表面與前腔鏡和上電極對(duì)應(yīng)的區(qū)域分別制作有后腔鏡和下電極，下表面與后腔鏡對(duì)應(yīng)的區(qū)域刻有衍射光柵。該微機(jī)電濾波器可方便獲得 200μm 以上的初始腔長(zhǎng)，能在不同方向上實(shí)現(xiàn)單一波長(zhǎng)的濾波，具有窄半峰全寬和寬自由光譜范圍的優(yōu)點(diǎn)，在光通訊，光信息讀取，激光技術(shù)等領(lǐng)域中有廣泛的應(yīng)用前景。

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