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CN201410607056.3

申請日:

2014.10.30

應(yīng)用領(lǐng)域:  

屬于超精密測量技術(shù)領(lǐng)域，用于光刻機、鍍膜儀等設(shè)備中掩模與基底對準(zhǔn)裝置的設(shè)計。

項目簡介:  

本發(fā)明提供一種掩模與基底六自由度對準(zhǔn)裝置，含有掩模、掩模支架、彈性簧片、壓簧片、壓簧預(yù)緊、Y 手輪、拉簧預(yù)緊、基底、基底支架、X 手輪、基座、壓緊螺釘；掩模支架為圓盤形狀， 用于承載掩模；彈性簧片具有內(nèi)環(huán)及三個凸起， 內(nèi)環(huán)通過螺釘與掩模支架連接，三個凸起通過螺釘與基座凸面連接；壓簧片一端與基座支撐面通過螺釘連接，另一端壓在基底支架肩面上；壓簧預(yù)緊與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切；Y 手輪包括 Y1 手輪及 Y2 手輪，與基座支撐面通過螺釘連接并與基底支架相切；拉簧預(yù)緊一端與基座支撐面通過螺釘連接，另一端與基底支架通過螺釘連接。 

技術(shù)優(yōu)勢:

本發(fā)明通過調(diào)節(jié) Y1、Y2 及 X 手輪可完成基底的 X、Y 及θz 向位 置調(diào)整，通過調(diào)整三個壓緊螺釘可完成掩模與基底的 Z 向間隙調(diào)整及θx、θy 向調(diào)平，相比 現(xiàn)有的組合式對準(zhǔn)裝置，其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，適用于空間狹小的環(huán)境，并可完成掩模與基底 的六自由度高精度對準(zhǔn)。

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