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CN201210103398.2

申請(qǐng)日:

2012.04.10

應(yīng)用領(lǐng)域:  

光刻機(jī)

項(xiàng)目簡(jiǎn)介:  

本發(fā)明提供一種用于光刻機(jī)浸沒控制裝置，該裝置為在投影透鏡組末端元件和硅片間設(shè)置的浸沒控制裝置，所述的浸沒控制裝置包括：蓋板、外構(gòu)件、內(nèi)構(gòu)件，蓋板為環(huán)形板，其上由中心向外沿徑向依次開有注液口、出液口、進(jìn)氣口；外構(gòu)件為帶有階梯形狀的環(huán)形板； 內(nèi)構(gòu)件為環(huán)形版，其外側(cè)為階梯形狀，內(nèi)側(cè)為與投影物鏡末端元件形狀相匹配的錐形，其下部沿徑向向外依次開有：出液下環(huán)槽、環(huán)形均壓槽，其上部沿徑向向外依次開有扇形槽、注液孔、出液上環(huán)槽，其中出液上環(huán)槽與出液下環(huán)槽通過均布的通孔連接。 

技術(shù)優(yōu)勢(shì):

本發(fā)明通過外構(gòu)件與內(nèi)構(gòu)件的階梯形狀配合，形成浸沒控制裝置的邊緣狹縫密封，解決了 狹縫加工所需精度高、制造困難的問題；此外，狹縫密封是一種理想的線源密封形式， 壓力 分布均勻且流動(dòng)的散射效應(yīng)也最低，對(duì)浸沒流場(chǎng)的影響小。本發(fā)明中內(nèi)構(gòu)件的均壓槽內(nèi)固定彈性元件，解決了液體注入和回收速率不平衡問題：當(dāng)液體注入多余回收時(shí)，流場(chǎng)內(nèi)壓力增大，此時(shí)彈性元件在壓力作用下向上彎曲，使流場(chǎng)體積增大， 緩解了流場(chǎng)內(nèi)壓力的積累，避免流場(chǎng)壓力作用于投影物鏡末端元件而影響成像質(zhì)量；當(dāng)流場(chǎng) 內(nèi)注液小于回收時(shí)， 流場(chǎng)內(nèi)液體不足，其壓力相應(yīng)減小，彈性元件向下彎曲使流場(chǎng)體積減小 避免液體不能完全充滿流場(chǎng)而影響曝光質(zhì)量。

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