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CN201510418813.7

專利類型:

  發(fā)明

IPC 分類號:   

C30B29/36 C30B25/12 C30B23/02

應(yīng)用領(lǐng)域:  

半導(dǎo)體材料，應(yīng)用于電力轉(zhuǎn)換、太陽能光伏、電動汽車、高效馬達(dá)等領(lǐng)域

摘要:   

本發(fā)明涉及一種石墨托以及裝有石墨托的晶體生長爐，所述石墨托為中部截面直徑小于兩端截面直徑的回轉(zhuǎn)體結(jié)構(gòu)。所述晶體生長爐， 包括：位于反應(yīng)室內(nèi)的石墨托，以及設(shè)置在所述反應(yīng)室周向的加熱裝置，其特征在于，所述石墨托為中部截面直徑小于兩端截面直徑的回轉(zhuǎn)體，所述石墨托上部設(shè)有臺面，所述加熱裝置的位置配合所述石墨托以對其進行加熱。本發(fā)明設(shè)置的石墨托中部設(shè)有徑向尺寸較小的中部，在石墨托外周設(shè)置的加熱裝置向石墨托進行振蕩加熱后，石墨托上部的臺面能夠獲得較為均勻的熱量，熱量在臺面上分布較為均勻，從而保證襯底上的溫度較為均勻，為晶體外延生長過程中提供了均勻的溫度環(huán)境，保證襯底上晶體外延生長均有較好的均勻性。

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