專利申請(qǐng)?zhí)?/span>:  

CN201310161118.8

專利類(lèi)型

  發(fā)明

IPC 分類(lèi)號(hào):   

C23C14/26 C23C14/08 G02B1/10

應(yīng)用領(lǐng)域:  

膜材料，應(yīng)用于大型望遠(yuǎn)鏡等

摘要:   

本發(fā)明提供一種向下熱蒸發(fā)介質(zhì)保護(hù)膜層的制備方法，其特征在于裝載介質(zhì)材料的蒸發(fā)源位于真空室內(nèi)部上方、待鍍主鏡位于下方自上而下蒸發(fā)，采用常見(jiàn)的熱蒸方式。保護(hù)膜材料為一氧化硅（SiO）， 裝載于經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)的鉬蒸發(fā)舟中，加熱升華向下運(yùn)動(dòng)，與氮?dú)獍l(fā)生作用生成透明、牢固的 SiOxNy 保護(hù)膜層。本發(fā)明提供一種為大型主鏡自上向下熱蒸發(fā)介質(zhì)保護(hù)膜層的制備方法，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、應(yīng)用廣泛的優(yōu)點(diǎn)。

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