專利申請?zhí)?/span>:  

CN201210307876.1

專利類型:

發(fā)明

IPC 分類號:   

C23C14/24 C23C14/10 G02B1/11

應(yīng)用領(lǐng)域:  

膜材料，應(yīng)用于大型望遠(yuǎn)鏡等

摘要:   

本發(fā)明提供一種大型望遠(yuǎn)鏡鋁反射主鏡介質(zhì)保護(hù)膜層的制備方法， 其采用主鏡面朝上、保護(hù)膜蒸發(fā)源位于鏡面上方，自上向下的制備方式，保護(hù)膜材料為一氧化硅（SiO），裝載于經(jīng)過特殊設(shè)計的鉬蒸發(fā)舟中，加熱升華向下蒸發(fā)，通過氧化作用生成透明、牢固的SiOx(1

備方法，能夠極大地延長鋁反射膜的使用壽命。

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