專利申請(qǐng)?zhí)?/span>:  

CN201310668842.X

專利類型

  發(fā)明

IPC 分類號(hào):   

H03H9/15 H03H3/02

應(yīng)用領(lǐng)域:  

石墨烯材料，應(yīng)用于極小壓力傳感和極小質(zhì)量探測(cè)的微機(jī)電系統(tǒng)

摘要:   

本發(fā)明提供一種石墨烯諧振器及其制作方法，所述石墨烯諧振器包括襯底、聲表面波發(fā)生器及石墨烯，所述聲表面波發(fā)生器設(shè)置在襯底表面，用于產(chǎn)生聲表面波，所述襯底在所述聲表面波傳播方向上設(shè)置有一凹槽，所述石墨烯設(shè)置在所述凹槽上方形成懸空的石墨烯， 懸空的石墨烯能夠在聲表面波的作用下機(jī)械振動(dòng)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：采用聲表面波作為激振源，石墨烯作為機(jī)械振動(dòng)結(jié)構(gòu)，使得本發(fā)明石墨烯諧振器具有更小的自身質(zhì)量和更高的諧振頻率及品質(zhì)因子，且易于實(shí)現(xiàn)集成化，可用于極小壓力傳感和極小質(zhì)量探測(cè)的微機(jī)電系統(tǒng)。

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