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CN201310234613.7

專利類型

  發(fā)明

IPC 分類號:   

G03F7/075 G03F7/004

應(yīng)用領(lǐng)域:  

紫外光固化材料，應(yīng)用在軟壓印工藝中

摘要:   

一種巰基-烯紫外光固化納米壓印材料，由低粘度、多官能度的液體預(yù)聚物、光引發(fā)劑、助劑與稀釋劑組成。低粘度、多官能度液體預(yù)聚物由（含硅）巰基單體和（含硅）烯烴單體組成。（含硅）巰基單體和（含硅）烯烴單體均含有兩個或兩個以上的可固化交聯(lián)官能團(tuán)，可固化交聯(lián)官能團(tuán)為巰基或碳碳不飽和雙鍵。液體預(yù)聚物占材料總質(zhì)量的 5%-90%，稀釋劑質(zhì)量占材料總質(zhì)量的 95%-10%，光引發(fā)劑質(zhì)量為液體預(yù)聚物質(zhì)量的 1%-5%，助劑質(zhì)量為液體預(yù)聚物質(zhì)量的0.01%-10%。本發(fā)明具有低粘度、快速固化、可在空氣中完全固化、低收縮率的特點(diǎn)，基于旋轉(zhuǎn)涂膜工藝，可作為紫外光固化納米壓印膠使用，實(shí)現(xiàn)大面積紫外光固化納米壓印，經(jīng)濟(jì)高效地生產(chǎn)出關(guān)鍵尺寸小于 100 納米的圖案。

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