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為加快 G60 科創(chuàng)走廊高端創(chuàng)新要素整合集聚，促進(jìn) G60科創(chuàng)走廊九城市科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化和知識(shí)產(chǎn)權(quán)運(yùn)營交易，同時(shí)為籌備好“G60 科創(chuàng)走廊科技成果拍賣會(huì)”，G60 科創(chuàng)走廊聯(lián)席會(huì)議辦公室根據(jù)各城市產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)收集了人工智能、機(jī)器人與智能制造、新材料、光電科技、汽車軌道交通、生物醫(yī)藥等六大先進(jìn)技術(shù)領(lǐng)域?qū)＠夹g(shù)成果，現(xiàn)將該批專利技術(shù)成果之機(jī)器人與智能制造項(xiàng)目推介整理——31、一種用于光刻機(jī)的浸沒控制裝置公布如下：

為加快 G60 科創(chuàng)走廊高端創(chuàng)新要素整合集聚，促進(jìn) G60科創(chuàng)走廊九城市科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化和知識(shí)產(chǎn)權(quán)運(yùn)營交易，同時(shí)為籌備好“G60 科創(chuàng)走廊科技成果拍賣會(huì)”，G60 科創(chuàng)走廊聯(lián)席會(huì)議辦公室根據(jù)各城市產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)收集了人工智能、機(jī)器人與智能制造、新材料、光電科技、汽車軌道交通、生物醫(yī)藥等六大先進(jìn)技術(shù)領(lǐng)域?qū)＠夹g(shù)成果，現(xiàn)將該批專利技術(shù)成果之機(jī)器人與智能制造項(xiàng)目推介整理——30、一種掩模與基底六自由度對(duì)準(zhǔn)裝置公布如下：

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